陶瓷靶材质量参数：
1、 材料的纯度至少***3N；
2、 密度大于95%；
3、 直径20mm~80mm，厚度3~5mm；
4、 加工要求，外圆与上下表面加工精度0.1mm；
提供靶材种类如下：
1、 氧化物靶材：氧化锌靶材，铝氧化锌靶材，氧化铝靶材，氧化锑靶材，氧化锑掺锡靶材，钛酸钡靶材，氧化铋靶材，氧化镓靶材，氧化锗靶材，氧化铪靶材，氧化铟靶材，氧化铟锡靶材，氧化镁靶材，氧化钼靶材，氧化铜靶材， 氧化铬靶材，氧化铁靶材，氧化碲靶材，氧化硅靶材，氧化钽靶材，氧化钛靶材，氧化锡靶材，氧化钨靶材，氧化钒靶
2、 铁电材料靶材钛酸锶靶材，钛酸锶钡靶材，铁酸镥靶材，钛酸镨靶材，钛酸铅靶材，锆酸铅靶材，锆酸锶靶材，铌酸锂靶材；
3、 稀土氧化物靶材：氧化铈靶材，氧化镝靶材，氧化铒靶材，氧化钆靶材，氧化钬靶材，氧化镧靶材，氧化镥靶材，氧化钕靶材，氧化镨靶材，氧化钐靶材，氧化钪靶材，氧化铽靶材，氧化铥靶材，氧化镱靶材，氧化钇靶材；
4、 非氧化物陶瓷靶材：硼化铬靶材，硼化镧靶材，二硼化钛，硼化锆靶材，碳化四硼靶材，碳化硅陶瓷靶材，碳化钛靶材，碳化钨靶材，氮化铝靶材，氮化硼靶材，氮化硅靶材，氮化钛靶 材，碲化镉靶材，碲化铅靶材，碲化锌靶材，硒化铋靶材，硒化铟靶材，硒化锌靶材。
